0.768nm!美国造出全球最高分辨率光刻机:现在下单,6个
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当谈到半导体制程的尖端技术,人们往往会想到EUV光刻机,尤其是5nm及以下的制程,这几乎成了必备的工具。然而,EUV光刻机价格昂贵,供应商也十分有限,ASML成为了唯一的选择。对于更高级的制程,比如2nm,ASML的新一代0.55NAEUV光刻机是必需的,但价格可能高达4亿美元。
而对于追求更小制程的1nm以下,连ASML的新一代光刻机也无能为力。
然而,近日,一家美国公司ZyvexLabs却宣布推出了一款令人瞩目的产品——全球分辨率最高的亚纳米分辨率光刻系统“ZyvexLitho1”。这个系统打破了传统,没有采用EUV光刻技术,而是采用了基于STM扫描隧道显微镜的电子束光刻方式,其精度更胜于EUV光刻机。
ZyvexLitho1的核心技术是氢去钝化光刻,一种EBL的变体。
这种技术利用氢去钝化的方式,使用低能量电子进行原子分辨率的制作。HDL使用附着在硅表面的单层H原子作为抗蚀剂,并通过电子刺激解吸在抗蚀剂中创建图案。与传统的高能电子束光刻不同,HDL实现了更高的分辨率和精度,将沉积能量集中在极小的曝光区域,可以暴露比传统EBL更小得多的区域,甚至小到只有单个原子大小。
ZyvexLitho1的五大特色功能进一步彰显了其技术的突破性。
首先,它拥有无失真成像能力,可以实现原子级精确的尖端定位。其次,采用自适应电流反馈回路,可以显著减少尖端碰撞,增加工作稳定性。此外,自动晶格对准技术使得在光刻前后可以对硅表面进行自动成像,从而实现准确的尖端定位。数字矢量光刻则让设计与实际制作更加精准,可以根据不同的光刻模式进行自动曝光。最后,系统具备自动化和脚本功能,几乎所有操作都可以自动完成,大大提高了工作效率。
值得注意的是,ZyvexLitho1并非实验室原型产品,而是已经可以商用的产品。根据官方介绍,用户可以下单购买,并在六个月后交货。目前,该系统有标准版和高级版两个版本可选,但具体售价尚未公布。
ZyvexLabs的技术引起了业界的广泛关注和赞誉。知名量子计算专家、2015年费曼奖得主Michelle Simmons教授表示,ZyvexLitho1的原子级精密图案将为量子计算机的制造提供强有力的支持,有望实现更安全的通信、更快速的新药开发以及更准确的天气预报。
而STM光刻技术的发明者Joe Lyding教授则认为,ZyvexLabs的技术是目前唯一商业化实现的原子级精确光刻技术。
总体而言,ZyvexLitho1的推出在半导体制程领域带来了一股新的风潮。虽然相对于EUV光刻机,其产量可能较低,但对于制作高精度的芯片或掩膜板来说,这种技术将发挥重要作用。随着技术的不断进步,或许未来可以解决其产量问题,为半导体制造向着皮米级前进提供更多可能性。
关于Zyvex公司,它于1997年由Jim Von Ehr创立,致力于开发和商业化原子精密制造技术。APM技术在灵活制造各种产品方面具有潜力,从超级计算机到医疗设备。该公司的技术不断发展壮大,引起了多个领域的关注,尤其是在纳米领域。该公司曾获得多个奖项和支持,为其创新提供了坚实的基础。
综上所述,ZyvexLitho1的出现将为半导体制程领域带来新的可能性和方向。
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